FOPLP(Fan-Out Panel-Level Packaging:扇出型面板級封裝)是不在晶圓(直徑300mm圓形)上,而在大型矩形面板(例:510x515mm、600x650mm)上進行扇出型封裝的技術。面板面積達晶圓的4~10倍以上,因此1次處理可取得的晶片數大幅增加,可望降低成本。Samsung Electro-Mechanics、日月光集團(ASE Group)、艾克爾(Amkor)等正在推進開發,已開始應用於5G通訊晶片與AI邊緣裝置。
FOPLP的製造流程與FOWLP(InFO等)類似,但有大型面板特有的技術課題。最大課題是面板的翹曲(Warpage)控制,熱處理時必須在維持全面溫度均勻性的同時將變形降到最低。此外,與以圓形晶圓為前提的既有設備不相容,迪思科、東京威力科創、SUSS MicroTec等正在開發對應設備。RDL的對位精度(抑制晶粒偏移)也是重要的良率管理項目。
FOPLP與CoWoS、InFO相比可望具有成本優勢,但確保量產良率與精度是普及的關鍵。與玻璃核心基板結合(Panel-Level Glass Packaging),以進一步最佳化效能與成本的研究也在進行中。請一併參閱CoWoS與FOPLP的差異(2.5D先進封裝比較)的比較文章以及PLP(面板級封裝)的用語。這是可望在2026~2028年間正式進入量產的次世代封裝技術之一。