最後更新:2026年10月8日後段製程・先進封裝先進封裝中國大陸:再布线层

重布線層(RDL)是什麼

Redistribution Layer (RDL)

重布線層(RDL)是將晶片上I/O焊墊的位置與間距「重新布線」到更寬間距或不同配置的薄膜金屬導線層,由低介電常數有機絕緣膜與Cu導線層1~數層堆疊而成。

目錄4 項
  1. 定義與原理
  2. 相關企業
  3. 相關用語
  4. 比較文章

定義與原理

重布線層(RDL:Redistribution Layer)是將晶片上I/O焊墊(打線焊墊)的位置與間距,「重新布線」到更寬間距或不同配置的薄膜金屬導線層。其結構是在矽晶圓上,以聚醯亞胺或PBO(聚苯并噁唑)等低介電常數有機絕緣膜,搭配Cu濺鍍+電鍍形成的導線層,堆疊1~數層。

RDL不可或缺的原因,在於要解決先進邏輯晶片I/O間距(數十μm)與印刷電路板或封裝載板間距(數百μm~mm)之間的巨大落差(扇出問題)。透過RDL重新配置I/O,即使是小晶片也能確保較寬的焊墊面積,提高與載板的連接可靠度。這正是Fan-Out WLP(FOWLP)、eWLB、InFO等扇出型封裝的核心技術。

RDL的形成製程分為在晶圓級(WLP:Wafer Level Package)進行的方法,以及在面板級進行的方法。台積電的InFO(Integrated Fan-Out)是在以封膠埋入晶片後,以與晶圓製程相同的精度形成RDL,實現超越傳統打線封裝的電性表現與薄型化。蘋果的A系列晶片即採用InFO封裝。

在先進封裝中,RDL的演進方向是要求L/S(線寬/線距)在2μm以下的「細間距RDL」。這需要接近矽晶圓上FEOL(前段製程)的精度,使用專用的曝光機(i-line~DUV掃描式曝光機)、Cu電解電鍍設備與CMP平坦化設備。此外,在「橋接技術」(EMIB:英特爾、Si-Bridge:台積電)中,則將矽上的RDL用於小晶片之間的局部連線。

RDL相關的主要供應商包括:RDL形成設備(東京威力科創、Lam Research、艾司摩爾的曝光機)、銅電鍍(Enthone、MacDermid Alpha)、絕緣膜材料(住友電木、HD Microsystems)、檢測(KLA、Onto Innovation)。RDL技術的細間距化左右著整個先進封裝的效能提升。

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