Golden Eagleとは
Golden Eagle は、Camtek のパネル検査・計測装置です。最大 650 × 650mm のパネルに対応し、新しいグラナイト（花崗岩）プラットフォームと高性能な光学チャンネルを備えています。
検出感度は明視野で 0.8µm、暗視野で 0.6µm です。カラーフィルター付きの明視野・暗視野照明と複数の倍率を使い分け、CAD データにもとづいて領域ごとに検出アルゴリズムを設定できます。フォーカス・照明・検出エンジンを変えた連続スキャンも実行できます。
ファンアウト型パッケージの再配線層（RDL）検査に向けた専用アルゴリズムを備え、パネルレベルパッケージの工程管理に使われます。
主な特長
- •最大 650 × 650mm のパネルに対応
- •明視野 0.8µm／暗視野 0.6µm の検出感度
- •CAD ベースで領域ごとに検出アルゴリズムを設定
主な仕様
| 対応パネル | 最大 650 × 650 mm |
|---|---|
| 検出感度 | 明視野 0.8 µm／暗視野 0.6 µm |
| 検出方式 | 明視野・暗視野（カラーフィルター付き）、CAD ベース検出 |
| 主要用途 | ファンアウトの RDL 検査 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
パネル検査・計測：3機種の比較
| 項目 | CamtekGolden Eagle | Onto InnovationPrimaScan™ P | Onto InnovationFirefly® G5 |
|---|---|---|---|
| 主要用途 | ファンアウトの RDL 検査 | ガラスパネルの受け入れ品質管理 | — |
| 対象 | — | ガラスパネル基板（AICS・FOPLP） | 先端 IC 基板・パネルレベルパッケージ |
| 方式 | — | レーザー走査＋イメージング | 複数のイメージングモード（Clearfind）・高速 IR イメージング |
1機種だけが掲載している項目（4件）
| 対応パネル | 最大 650 × 650 mm | — | — |
|---|---|---|---|
| 検出感度 | 明視野 0.8 µm／暗視野 0.6 µm | — | — |
| 検出方式 | 明視野・暗視野（カラーフィルター付き）、CAD ベース検出 | — | — |
| 機能 | — | — | 2D／3D 計測・カラー画像取得 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •パネルレベルパッケージ（FOPLP）の外観検査
- •ファンアウトの再配線層（RDL）検査
掲載カテゴリ
Golden Eagleは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Camtek
イスラエル拠点の光学検査装置（AOI）メーカー。先端パッケージング（HBM・FO-WLP）、バンプ検査、2.5D/3D 実装の品質管理で急成長。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-19