ZH05 是迪思科(DISCO)的輪轂型刀片(切割刀片)。以電鑄結合劑固定鑽石磨粒的刀刃,安裝於切割機上切斷晶圓。
用於矽晶圓、GaAs 與 GaP 等化合物半導體晶圓、LiTaO₃ 等氧化物晶圓的切斷。以提供 5 段集中度(磨粒密度)的集中度控制技術,在加工品質與刀片壽命之間取得優異平衡。
搭載減少背面崩邊的技術,也可望縮短預切(修整)時間。另有刀片側面更均勻的 -K 規格。
電鑄結合劑的 DISCO 切割刀片。以集中度控制技術提供 5 段集中度,兼顧背面崩邊與壽命。
ZH05 是迪思科(DISCO)的輪轂型刀片(切割刀片)。以電鑄結合劑固定鑽石磨粒的刀刃,安裝於切割機上切斷晶圓。
用於矽晶圓、GaAs 與 GaP 等化合物半導體晶圓、LiTaO₃ 等氧化物晶圓的切斷。以提供 5 段集中度(磨粒密度)的集中度控制技術,在加工品質與刀片壽命之間取得優異平衡。
搭載減少背面崩邊的技術,也可望縮短預切(修整)時間。另有刀片側面更均勻的 -K 規格。
| 結合劑・形狀 | 電鑄結合劑・輪轂型刀片 |
|---|---|
| 適用材料 | Si・化合物半導體(GaAs・GaP)・氧化物(LiTaO₃) |
| 主要用途 | 晶圓切割 |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。