刀片切割(Blade Dicing)是讓電鍍鑽石刀片高速旋轉,以機械方式切削晶圓、將其單顆化為個別晶片(晶粒)的切割方式,是最傳統且使用最廣的方法。加工時在切削點供應純水,以抑制摩擦熱並沖走切削碎屑(debris)。
刀片厚度(切口寬度)大約為15~50μm,會影響切割道(晶片間的切割預留寬度)的寬度。由於即使是厚晶圓或含金屬導線層的基板也能穩定切割,且具備豐富實績與高量產性,至今仍是通用封裝(QFP、BGA、QFN等)單顆化製程的主流。
另一方面,刀片的機械接觸容易在晶片端面造成崩邊(chipping,微小缺角)或裂痕,因此在已薄化的脆弱晶圓(50μm以下)或含low-k絕緣膜的先進元件上,正逐步改用非接觸加工的雷射切割與隱形切割。由於是使用切削水的濕式製程,後續也需要清洗與乾燥。
主要設備廠商為迪思科(DISCO)與東京精密(Accretech),基於量產線上的穩定性、產能與成本效益,在先進封裝以外的通用用途中仍被廣泛採用。