Planargem 是英特格（Entegris）的 CMP 研磨墊修整器。切削並整理（修整）CMP（化學機械研磨）所用研磨墊的表面，以維持研磨性能。
結構為在微細加工的 SiC（碳化矽）基材上被覆 CVD 鑽石。不像既有產品那樣固定鑽石顆粒，因此不必擔心顆粒脫落刮傷晶圓。
可調整塗層粗糙度，將研磨墊壽命延長最高 2.5 倍。針對先進節點的 CMP。
Planargem的特點與規格
英特格（Entegris）・研磨墊修整器
在微細加工的 SiC 基材上被覆 CVD 鑽石的研磨墊修整器。防止鑽石顆粒脫落造成的刮傷。
產品概要
主要規格
| 結構 | 微細加工 SiC 基材＋CVD 鑽石塗層 |
|---|---|
| 特點 | 可調整塗層粗糙度・研磨墊壽命最高 2.5 倍 |
| 主要用途 | CMP 研磨墊的修整（先進節點） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
SiC 基材＋CVD 鑽石塗層
防止鑽石顆粒脫落造成刮傷
將研磨墊壽命延長最高 2.5 倍
主要用途
- CMP 研磨墊的修整
- 先進節點的 CMP 製程
製造商
英特格（Entegris）（總部：美國）