Planargem®（CMP パッドコンディショナー）
微細加工した SiC 基材に CVD ダイヤモンドを被覆したパッドコンディショナー。ダイヤ粒の脱落によるスクラッチを防ぐ。
Planargemとは
Planargem は、Entegris の CMP パッドコンディショナーです。CMP（化学機械研磨）で使う研磨パッドの表面を削って整え（目立て）、研磨性能を保ちます。
微細加工した SiC（炭化ケイ素）の基材に CVD ダイヤモンドを被覆した構造です。従来品のようにダイヤモンドの粒を固定していないため、粒が抜け落ちてウェーハを傷つける心配がありません。
コーティングの粗さを調整でき、パッドの寿命を最大 2.5 倍に延ばせます。先端ノードの CMP 向けです。
主な特長
- •SiC 基材＋CVD ダイヤモンドコーティング
- •ダイヤ粒の脱落によるスクラッチを防止
- •パッド寿命を最大 2.5 倍に延長
主な仕様
| 構造 | 微細加工 SiC 基材＋CVD ダイヤモンドコーティング |
|---|---|
| 特徴 | コーティング粗さを調整可能・パッド寿命最大 2.5 倍 |
| 主要用途 | CMP パッドの目立て（先端ノード） |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | EntegrisPlanargem®（CMP パッドコンディショナー） | 3M3M™ Trizact™ パッドコンディショナー |
|---|---|---|
| 構造 | 微細加工 SiC 基材＋CVD ダイヤモンドコーティング | ダイヤモンド被覆セラミック（微細複製形状） |
| 特徴 | コーティング粗さを調整可能・パッド寿命最大 2.5 倍 | 金属フリーの切削面・T シリーズは CVD ダイヤでパッド摩耗率低下を最大 4 分の 1 に |
| 主要用途 | CMP パッドの目立て（先端ノード） | 金属汚染に敏感な先端ノードの CMP |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •CMP パッドの目立て
- •先端ノードの CMP 工程
掲載カテゴリ
Planargemは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
Entegris
半導体材料インテグリティ管理の専業企業。ウェハキャリア（FOUP）・CMPスラリー・超純水フィルタ・ガス精製器など汚染制御製品でNo.1クラスのシェア。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07