PHEMOS-X（C15765-01）是濱松光子（Hamamatsu Photonics）的發光顯微鏡，為捕捉不良處產生的微弱發光或發熱，以定位半導體元件故障點的故障分析設備。
可搭載 2 台超高靈敏度相機，對應從可見光到近紅外光的不同偵測波段。光源最多可搭載 7 個，具備 OBIRCH（光束誘發電阻變化分析）、DALS（雙主動鎖相偵測）、EOP（電光探測）、雷射標記等功能。
具備將訊號疊加於高解析度圖案影像的疊加功能、改善低對比影像的對比增強功能，以及對應複雜結構元件缺陷偵測的 TD Imaging 功能（選配），並搭載可對應多樣樣品的光學載台（X/Y ±20mm、Z +80mm）。