NP8000 是日立高新技術（Hitachi High-Tech）以 SEM 為基礎的奈米探針系統。為因應 5nm 以下節點的分析需求而設計，可評估奈米尺度元件的電特性、EBAC、EBIC、脈衝 IV 與溫度相依性。
透過新的電子光學系統與新的蕭特基電子槍，即使在未滿 100V 的超低加速電壓下也能取得清晰影像，減少觀察時對樣品的損傷。探針為 8 支，並提高探針電流以改善 EBAC（電子束吸收電流）影像的畫質。施加電壓使缺陷可視化的 DI-EBAC 也獲得強化，過去難以發現的低電阻缺陷也更容易找到。
可藉溫控載台進行溫度相依特性評估，並以同時觀察上面與側面的光學相機輔助粗略探針定位。也具備獨立於探針移動樣品的副載台、探針更換用的 Load Lock 室，並對應診斷電阻性閘極電極不良的脈衝 IV 量測（訂製）。