故障分析設備是什麼

故障分析設備是以非破壞方式找出不良元件的故障位置,並追溯至物理原因的一系列設備。微光顯微鏡(EMMI)偵測異常漏電處的微弱發光,OBIRCH 偵測導線的空洞或高阻值處,鎖相熱像儀則偵測發熱點。一般流程是將以這些手法縮小範圍的位置用 FIB 進行斷面加工,再以 SEM/TEM 觀察,確定故障機制。分析結果會回饋至設計、製程與材料,直接關係到防止再發與良率改善。

重點整理

以 EMMI 找出異常發光、OBIRCH 找出高阻值處、熱像儀找出發熱點
以非破壞方式縮小位置後,再進行 FIB 斷面加工・SEM/TEM 觀察
以區分電性不良模式為起點,逐步追查原因
分析結果回饋至設計、製程與材料,有助於防止再發

常見問題

故障分析依照什麼步驟進行?
首先以電性量測區分不良模式,接著以 EMMI 或 OBIRCH 等非破壞手法縮小故障位置範圍。之後進行開封・斷面加工,再以 SEM/TEM 觀察或元素分析確定物理原因。原則上,會破壞試片的步驟一定要放在後段。

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