HMI eScan 1100 是艾司摩爾（ASML）旗下漢微科（HMI）的多射束電子束檢測設備。具備可產生・控制 25 道一次射束的改良型電子光學系統，用於 3nm 節點以後的線上缺陷檢測。
結合多射束技術、高速晶圓載台與先進演算法，廠商表示產能最高可達單射束電子束檢測設備的 15 倍。具備即時處理資料的高速運算架構。
具備先進帶電控制（ACC）與高電壓泛射技術、獨家的晶粒對資料庫（die-to-database）缺陷偵測功能，可偵測至 7nm 的電性缺陷（斷路・短路・漏電）與圖形化缺陷。可捕捉光學式檢測容易漏失的缺陷，也用於以晶圓列印檢查監控 EUV 光罩缺陷的用途。是前代機型 eScan 1000 的後繼機。