HMI eScan 1100的特點與規格

HMI eScan 1100 是艾司摩爾（ASML）首款以多電子束進行的線上缺陷檢測設備。延續 eScan 1000 的路線，為高產能晶圓檢測帶來新的效率。

以 3nm 以後的節點為對象，作為該公司多電子束路線圖的第一代，將高產能、高解析度的電子束檢測帶進量產環境。

以 25 道電子束、高速晶圓平台與先進的運算演算法，產能最高可達單電子束檢測設備的 15 倍。相較 eScan 1000，改良了以更高解析度產生並控制 25 道一次電子束的電子光學系統。