HMI eP5的特點與規格

HMI eP5 是艾司摩爾解析度最高的電子束設備。為了晶片開發與生產監控，以高產能進行 CD（尺寸）量測與缺陷偵測。

晶圓廠與研發皆可使用，用於生產中的製程性能監控，以及開發中的光學鄰近效應修正（OPC）模型驗證。

1 台結合精密的 CD 量測與高解析度缺陷偵測。在晶圓檢測中，可在物理缺陷模式與電位對比模式下運作，找出圖案化與電性缺陷。像素尺寸為 1nm。