PrimeVision 10 eBeam Inspection的特點與規格

PrimeVision 10 是應用材料（Applied Materials）的電子束（eBeam）缺陷檢測設備。元件越複雜、垂直方向越高，影響良率的缺陷就越難找出，電子束檢測的重要性也隨之提高。

結合新的冷場發射（CFE）技術與最新的背向散射電子（BSE）偵測，大幅提高成像速度與靈敏度。可對應埋藏在膜中的缺陷、深溝槽缺陷、奈米級圖案偏移、電性缺陷等各種缺陷。

以提高電流密度的 CFE 進行大範圍成像，加快製程開發與量產中的除錯。