eSL10 是科磊（KLA）的電子束（e-beam）式圖案化晶圓缺陷檢測設備。以業界最高的著陸能量與高解析度，捕捉微小的物理缺陷與高深寬比結構的缺陷，支援先進邏輯、DRAM、3D NAND 的開發與量產監控。
透過新的電子光學設計，以小光點尺寸取得高電子束電流密度，在業界最廣的操作條件下，捕捉各種製程層與元件結構的缺陷。
Yellowstone 掃描模式可在不降低解析度的情況下高速運作，有效率地調查可疑熱點，並在大範圍晶片區域中搜尋缺陷。以業界唯一的 Simul-6 技術，一次取得表面、形貌、材料對比等資訊。