VF-5700 是 JTEKT Thermo Systems（原光洋熱系統，Koyo Thermo Systems）支援 300mm 晶圓的迷你批次立式爐。每次處理片數最多 50 片，可在 25～50 片範圍內選擇處理。
支援氧化・擴散・LP-CVD・退火等熱處理。搭載可高速升溫的高功率加熱器（LGO 加熱器）以提高產能，並以單片方式高速搬送晶圓。均溫區長度為 500mm。
本體尺寸為 1,100(W)×2,000(D)×2,950(H)mm，總高控制在 3,000mm 以下，是易於導入的尺寸。採削減儲料區空間的設計，也可不設儲料區導入，因此能降低相關成本。I/O 埠有 2 個，並具備易於操作的控制系統。