VF-5700

ジェイテクトサーモシステム（旧光洋サーモシステム）の 300mm 縦型熱処理装置。

VF-5700とは

VF-5700 は、ジェイテクトサーモシステム（旧光洋サーモシステム）の 300mm ウェーハ対応ミニバッチ縦型炉です。1 回の処理枚数は最大 50 枚で、25〜50 枚の範囲で選んで処理できます。

酸化・拡散・LP-CVD・アニールなどの熱処理に対応します。高速昇温が可能なハイパワーヒーター（LGO ヒーター）を搭載してスループットを高め、ウェーハを枚葉で高速搬送します。均熱長は 500mm です。

本体寸法は 1,100(W)×2,000(D)×2,950(H)mm と、全高 3,000mm 以下で導入しやすいサイズに抑えられています。ストッカーのスペースを削減する設計で、ストッカーレスでの導入も可能なため関連コストを下げられます。I/O ポートは 2 つで、操作しやすい制御システムを備えます。

主な特長

•300mm ミニバッチ（25〜50 枚を選択）
•高速昇温のハイパワー LGO ヒーター、均熱長 500mm
•枚葉による高速ウェーハ搬送
•全高 3,000mm 以下、ストッカーレス導入も可能

主な仕様

方式	バッチ縦型炉（50 枚）
対応ウェハ径	300 mm
処理	酸化・拡散・LP-CVD・アニール
主要用途	Si デバイスの熱処理

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	Kokusai Electric（国際電気）AdvancedAce®-II	ASMインターナショナルSONORA®	光洋サーモシステムVF-5700
方式	ラージバッチ縦型炉	バッチ縦型炉（デュアルボート）	バッチ縦型炉（50 枚）
対応ウェハ径	300 mm	300 mm	300 mm
処理	CVD・酸化・拡散・アニール	LPCVD（ポリ Si・SiN・SiO）・バッチ ALD・酸化・拡散・アニール	酸化・拡散・LP-CVD・アニール
主要用途	量産ラインの熱 CVD・熱処理	ロジック・メモリ・アナログ／パワー	Si デバイスの熱処理