最後更新:2026年10月23日LPCVD(低壓 CVD)

AdvancedAce-II的特點與規格

國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)・LPCVD(低壓 CVD)

國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)的大批次立式熱處理設備。集結溫度控制・搬送・真空/氣體置換等要素技術,縮短週期時間。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

AdvancedAce-II 是國際電氣支援 300mm 晶圓的大批次式熱製程設備。集結溫度控制、自動搬送、真空・氣體置換、冷卻、沉積等該公司核心技術,大幅縮短週期時間,實現高產出。

作為沉積製程設備,用於以 LP-CVD 形成 CVD 膜・氧化膜;作為處理設備,用於氧化・擴散・低溫/高溫退火。批次處理能力為該公司既有機種的最高 1.75 倍,在大批次系列中具有最高的生產力。

特點為在深溝槽形狀上形成均勻薄膜,以及在低溫下進行高精度・高品質的沉積。另備有健康檢查功能選配。

主要規格

方式大批次立式爐
適用晶圓尺寸300 mm
處理CVD・氧化・擴散・退火
主要用途量產線的熱 CVD・熱處理

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

最高 1.75 倍的批次處理(與該公司既有機種相比)
在深溝槽形狀上形成均勻薄膜
低溫下高精度・高品質沉積
健康檢查功能(選配)

主要用途

  • 以 LP-CVD 形成 CVD 膜・氧化膜
  • 氧化・擴散・退火

製造商與在台據點

在台據點
  • 亞太國際電機(Kokusai Electric Asia Pacific)(新竹):1996 年 9 月成立的台灣子公司

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資料來源

  1. 國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)官方產品與服務資訊:KOKUSAI ELECTRIC