AdvancedAce-II 是國際電氣支援 300mm 晶圓的大批次式熱製程設備。集結溫度控制、自動搬送、真空・氣體置換、冷卻、沉積等該公司核心技術,大幅縮短週期時間,實現高產出。
作為沉積製程設備,用於以 LP-CVD 形成 CVD 膜・氧化膜;作為處理設備,用於氧化・擴散・低溫/高溫退火。批次處理能力為該公司既有機種的最高 1.75 倍,在大批次系列中具有最高的生產力。
特點為在深溝槽形狀上形成均勻薄膜,以及在低溫下進行高精度・高品質的沉積。另備有健康檢查功能選配。
國際電氣(KOKUSAI ELECTRIC)的大批次立式熱處理設備。集結溫度控制・搬送・真空/氣體置換等要素技術,縮短週期時間。
AdvancedAce-II 是國際電氣支援 300mm 晶圓的大批次式熱製程設備。集結溫度控制、自動搬送、真空・氣體置換、冷卻、沉積等該公司核心技術,大幅縮短週期時間,實現高產出。
作為沉積製程設備,用於以 LP-CVD 形成 CVD 膜・氧化膜;作為處理設備,用於氧化・擴散・低溫/高溫退火。批次處理能力為該公司既有機種的最高 1.75 倍,在大批次系列中具有最高的生產力。
特點為在深溝槽形狀上形成均勻薄膜,以及在低溫下進行高精度・高品質的沉積。另備有健康檢查功能選配。
| 方式 | 大批次立式爐 |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 300 mm |
| 處理 | CVD・氧化・擴散・退火 |
| 主要用途 | 量產線的熱 CVD・熱處理 |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。