Adwill RAD-2512F/12 是琳得科(LINTEC)的全自動真空貼片機。負責將晶圓貼附於切割膠帶並固定在框架(ring frame)上的製程。
具備在真空下貼附預切膠帶的功能,即使是以滾輪方式難以密合、背面有凹凸的晶圓也能最佳化貼附。以獨家載台設計可在不接觸晶圓表面的情況下貼片,並以同樣不接觸背面的傳送方式,無污染地處理已加工晶圓。適合經功率元件或 TSV 處理的晶圓。
對應 UV 硬化型 D 系列與非 UV 型 G 系列的切割膠帶。主機通訊(SECS-I・HSMS、支援 GEM)、視覺系統、線上切割膠帶預切,以及對應 300mm 晶圓為選配。