最後更新:2026年10月23日晶圓貼膜機

DFM2800的特點與規格

迪思科(DISCO)・晶圓貼膜機

與晶背研磨機線上連接、處理 Φ300mm 極薄晶圓的全自動多功能晶圓貼片機。進行切割膠帶貼附與表面保護膠帶剝離。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

DFM2800 是迪思科的全自動多功能晶圓貼片機。負責將以研磨機/拋光機 DGP8761 薄化的晶圓貼附到切割膠帶與膠帶框架上,並剝除表面保護膠帶,與晶背研磨機線上連接使用。

支援 Φ200mm 與 Φ300mm 晶圓,也能處理未滿 25µm 的極薄晶圓。框架貼片的貼附精度為 X/Y ±0.5mm 以下・θ ±0.5° 以下,切割膠帶為 X/Y ±1.0mm 以下。為了次世代 SiP 製造,也支援與切割膠帶一體型的 DAF(晶片黏著膜)。

將晶圓搬運步驟減少到前一代機型 DFM2700 的 20% 以降低破片風險,並在各搬運吸盤與平台設置清潔機構,防止微粒造成的破片。連續運轉的最大產能提升約 50%。與 DGP8761 搭配時,可從研磨機端統一管理配方選擇與運轉。

主要規格

適用晶圓尺寸300 mm
自動化全自動(與 DGP8761 線上連接)
功能切割膠帶貼附・保護膠帶剝離・支援 DAF 一體型膠帶
主要用途厚度未滿 25 µm 的極薄晶圓貼片

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

與 DGP8761 線上運用(從研磨機統一管理)
Φ200/300mm、未滿 25µm 的極薄晶圓
晶圓搬運步驟減少到 DFM2700 的 20%
最大產能提升約 50%,支援 DAF 一體型膠帶

主要用途

  • 薄化晶圓的切割膠帶貼附・表面保護膠帶剝離
  • SiP・記憶體堆疊用的 DAF 貼附

製造商與在台據點

在台據點
  • 迪思科高科技(DISCO Hi-Tec Taiwan)(台北・新竹・台中・台南・高雄):2007 年成立,全台 5 處據點,員工約 400 人

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資料來源

  1. 迪思科(DISCO)官方產品頁面:DISCO DFM2800