Adwill RAD-2512F/12

リンテックの全自動ウェハマウンター。独自のテーブル設計でウェーハ表面に触れずにマウントでき、裏面に凹凸があるウェーハにも真空でプリカットテープを貼れる。

Adwill RAD-2512F/12とは

Adwill RAD-2512F/12 は、リンテックの全自動真空マウンターです。ウェーハをダイシングテープに貼り付けてリングフレームに固定する工程を担います。

真空下でプリカットテープを貼り付ける機能を持ち、ローラー方式ではうまく密着しない、裏面に凹凸のあるウェーハでも最適に貼り付けられます。独自のテーブル設計によりウェーハ表面に触れずにマウントでき、裏面にも触れない搬送方式で加工済みウェーハを汚染なく扱います。パワーデバイスや TSV の処理を施したウェーハに向いています。

UV 硬化型の D シリーズと非 UV の G シリーズのダイシングテープに対応します。ホスト通信（SECS-I・HSMS、GEM 対応）、ビジョンシステム、インラインのダイシングテーププリカット、300mm ウェーハ対応はオプションです。

主な特長

•真空下でのプリカットテープ貼付
•ウェーハ表面・裏面とも非接触のハンドリング
•UV 硬化型（D シリーズ）・非 UV（G シリーズ）テープに対応
•SECS/GEM・ビジョン・インラインプリカット（オプション）

主な仕様

対応ウェハ径	300 mm
自動化	全自動
機能	真空プリカットテープ貼付・表面非接触マウント・裏面非接触搬送
主要用途	パワーデバイス・TSV ウェーハのダイシングテープ貼付

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	DISCODFM2800	リンテックAdwill RAD-2512F/12
対応ウェハ径	300 mm	300 mm
自動化	全自動（DGP8761 とインライン接続）	全自動
機能	ダイシングテープ貼付・保護テープ剥離・DAF 一体型テープ対応	真空プリカットテープ貼付・表面非接触マウント・裏面非接触搬送
主要用途	厚さ 25 µm 未満の極薄ウェーハのマウント	パワーデバイス・TSV ウェーハのダイシングテープ貼付