2830 ZT 是馬爾文帕納科（Malvern Panalytical）的波長分散型 X 射線螢光（WDXRF）晶圓分析儀。可量測膜層的組成與厚度、摻雜物濃度以及晶圓面內的均勻性，在半導體與資料儲存產業用於多層薄膜的量測與組成分析。
可直接載入 100～300mm 的晶圓，更小的晶圓也能透過專用轉接器處理。藉由 4kW 的 SST-mAX X 射線管與 ZETA 技術，在整個燈管壽命期間維持「如同新品」的性能，減少漂移補正的需求。也不會發生造成重新校正的鎢蒸鍍，因此能提高稼動率。
透過 SuperQ 軟體與 FP Multi，即使是經驗不足的操作人員，也能全自動執行多層膜的基本參數（FP）分析。FALMO-2G 載入器支援 FOUP、SMIF 與開放式卡匣，產能最高每小時 25 片。包含針對硼等輕元素的高性能通道在內，最多可搭載 24 個固定通道。