2830 ZT
半導体・データストレージ向けの WDXRF ウェーハアナライザー。X 線管の劣化影響を抑える ZETA 技術を持つ。
2830 ZTとは
2830 ZT は、Malvern Panalytical の波長分散型 蛍光 X 線（WDXRF）ウェーハアナライザーです。層の組成と厚さ、ドーパント濃度、ウェーハ面内の均一性を測定し、半導体とデータストレージの業界で多層薄膜の計測と組成分析に使われます。
100〜300mm のウェーハを直接ロードでき、それより小さいウェーハも専用アダプターで扱えます。4kW の SST-mAX X 線管と ZETA 技術により、管の寿命を通じて「新品同様」の性能を保ち、ドリフト補正の必要を減らします。再校正の原因となるタングステンの蒸着も起こらないため、稼働率を高められます。
SuperQ ソフトウェアと FP Multi により、経験の浅いオペレーターでも多層膜のファンダメンタルパラメータ解析を全自動で行えます。FALMO-2G ローダーは FOUP、SMIF、オープンカセットに対応し、スループットは最大毎時 25 枚です。ボロンなど軽元素向けの高性能チャンネルを含め、最大 24 の固定チャンネルを搭載できます。
主な特長
- •WDXRF による層の組成・厚さ・ドーパント計測
- •SST-mAX X 線管と ZETA 技術で長期安定
- •FP Multi による多層膜の全自動解析
- •最大 24 固定チャンネル、最大毎時 25 枚
主な仕様
| 分析手法 | WDXRF（波長分散型蛍光 X 線） |
|---|---|
| 対応ウェハ径 | 最大 300 mm |
| 特徴 | 0.2 nm ～ 10 µm・ホウ素まで・最大 25 枚／時 |
| 主要用途 | 膜組成・膜厚・ドーパント濃度の測定 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | リガク（Rigaku）WaferX 310 | ブルカー（Bruker）JVX7300LSI | マルバーン・パナリティカル（Malvern Panalytical）2830 ZT |
|---|---|---|---|
| 分析手法 | WDXRF（波長分散型蛍光 X 線） | HRXRD・XRR・(GI)XRD | WDXRF（波長分散型蛍光 X 線） |
| 対応ウェハ径 | 150 / 200 / 300 mm | 300 mm | 最大 300 mm |
| 特徴 | 最大 20 元素を同時分析・B／P など超軽元素に対応 | 校正不要の第一原理測定（組成・膜厚・歪み・密度・結晶性） | 0.2 nm ～ 10 µm・ホウ素まで・最大 25 枚／時 |
| 主要用途 | BPSG・PSG・金属膜・電極膜の膜厚／組成管理 | エピ積層・SiGe・Si 上 III-V の工程監視 | 膜組成・膜厚・ドーパント濃度の測定 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •多層薄膜の膜厚・組成管理
- •ドーパント濃度・面内均一性の評価
掲載カテゴリ
2830 ZTは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
X線回折（XRD）・蛍光X線分析（XRF）装置の専業メーカー。半導体薄膜の結晶性・組成分析、材料開発向けの精密分析装置をグローバルに供給する。