MicroSense KerrMapper的特點與規格

MicroSense KerrMapper 是科磊的磁性特性量測設備家族。利用縱向磁光克爾效應（MOKE），評估資料儲存、MRAM、磁感測器用磁性多層膜晶圓的磁性特性。

以非接觸的全晶圓量測，製作晶圓全面的磁性特性分布圖。有 KerrMapper S300 與 V300，皆可選擇手動上料與全自動配置。

以獨家的直接磁場控制技術，兼顧高磁場與低磁場下的解析度，1 台即可評估自由層與固定層的特性。也用於軟磁性膜與硬磁性膜多層膜的評估。