FAaST CV/IV的特點與規格

FAaST CV/IV 是 Onto Innovation 的非接觸電性量測平台。可將微觀與巨觀的電暈・凱爾文技術與數位表面光電壓（SPV）結合，以高解析度量測多種絕緣材料的薄膜與介面。研發與量產皆可使用。

非接觸 CV 量測的主要用途，是監控 IC 製造中絕緣膜的特性。與傳統的電性量測不同，不需製作試片，也不需製作 MOS 電容結構。藉此降低量測成本，在研發與製造中更快回饋資料。

電暈・凱爾文法是利用空氣中的電暈放電將電荷置於絕緣膜表面，再從表面電位的變化求得絕緣膜與介面的電性。