MicroSense PKMRAM的特點與規格

MicroSense PKMRAM 是科磊適用 300mm 的非接觸磁性特性量測設備。利用極向磁光克爾效應（MOKE），評估垂直 MRAM 開發與製造所用多層膜晶圓的磁性特性。

以非接觸的全晶圓量測，製作最大 300mm 晶圓全面的磁性特性分布圖。有手動上料與全自動配置，研發與生產皆可使用。

以 MicroSense 獨家的直接磁場控制技術，兼顧高磁場與低磁場下的解析度，1 台即可評估自由層與固定層的特性。