CDWX 是村田機械（Muratec）的裸晶圓倉儲系統，可將從 FOUP 取出的晶圓以高密度保管。
晶圓間距較 FOUP 縮小約 6 成的高密度保管，以最小空間打造理想的晶圓保管環境。收容數為 1,725～4,325 片，最多可擴充至 20,825 片。
設備運轉中也能出庫儲格，系統規格也可彈性配置。村田機械針對無塵室，另備有支援雙吊車的潔淨倉儲 CDS350-M3、塔式的 TW3、設於軌道下方的 OHB、設備前緩衝的 TS300 等保管設備。
裸晶圓倉儲 CDWX的特點與規格
村田機械（Muratec）・倉儲系統（Stocker）
將晶圓從 FOUP 取出、保管於專用儲格的裸晶圓倉儲（Bare Wafer Stocker）。與 FOUP 保管相比，間距縮小約 60%，可高密度保管。
產品概要
主要規格
| 保管對象 | 裸晶圓（專用儲格） |
|---|---|
| 組成 | 支援以儲格為單位的線上更換 |
| 保管片數 | 1,725 ～ 4,325 片（最多 20,825 片） |
| 主要用途 | 晶圓的高密度保管 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
晶圓間距較 FOUP 縮小約 6 成
1,725～4,325 片（最多 20,825 片）
運轉中的儲格出庫
主要用途
- 裸晶圓的高密度保管
- 無塵室的空間節省
製造商
村田機械（Muratec）（總部：日本）