ベアウエハストッカー CDWX

ウェーハを FOUP から出して専用セルに保管するベアウエハストッカー。FOUP 保管に比べ約60%のピッチ削減で高密度に保管できる。

ベアウエハストッカー CDWXとは

CDWX は、村田機械のベアウエハストッカーです。FOUP から取り出したウェーハを、高い密度で保管するシステムです。

ウェーハのピッチを FOUP に比べて約 6 割減らした高密度保管で、最小の空間に理想的なウェーハ保管環境をつくります。収容数は 1,725〜4,325 枚で、最大 20,825 枚まで拡張できます。

装置の稼働中でもセルの出庫ができ、システムの仕様も柔軟に構成できます。村田機械はクリーンルーム向けに、デュアルクレーン対応のクリーンストッカ CDS350-M3、タワー式の TW3、軌道下に置く OHB、装置前バッファの TS300 などの保管装置もそろえています。

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	ダイフクClean Stocker CLS-50	村田機械（Muratec）クリーンストッカ CDS350-M3	村田機械（Muratec）ベアウエハストッカー CDWX
保管対象	FOUP（300 mm）	FOUP	ベアウエハ（専用セル）
構成	モジュール設計（横方向に増設可能）	デュアルクレーン対応・コンベヤによる多ポート構成	セル単位のオンライン交換に対応
主要用途	前工程の工程間 FOUP 一時保管	工程間 FOUP 保管	ウェーハの高密度保管
関連機種	CLS-40（200 mm 用）／Clean Mini Stocker／ZFS（軌道脇・下の省スペース保管）	タワーストッカ TW3（フロア間搬送）／OHB（天井軌道下バッファ）	—