潔淨倉儲 CDS350-M3 是村田機械（Muratec）的載具（FOUP）保管用倉儲設備。支援以 2 台吊車進行存取的雙吊車配置，並可透過輸送帶構成複雜的埠口配置。
與負責樓層間搬運的塔式倉儲 TW3，以及設於天車軌道下方的緩衝 OHB 搭配，進行製程間的 FOUP 保管。
潔淨倉儲 CDS350-M3的特點與規格
村田機械（Muratec）・倉儲系統（Stocker）
村田機械的載具保管用潔淨倉儲（Clean Stocker）。支援雙吊車，並可透過輸送帶構成複雜的埠口配置。
產品概要
主要規格
| 保管對象 | FOUP |
|---|---|
| 組成 | 支援雙吊車・以輸送帶構成多埠口配置 |
| 相關機型 | 塔式倉儲 TW3（樓層間搬運）／OHB（天車軌道下緩衝） |
| 主要用途 | 製程間 FOUP 保管 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
支援雙吊車
以輸送帶構成多埠口配置
主要用途
- 製程間的 FOUP 保管
製造商
村田機械（Muratec）（總部：日本）