Clean Stocker CLS-50 是大福（Daifuku）適用 300mm 晶圓廠的無塵室自動保管系統，用於暫存等待下一道製程的 FOUP（裝載晶圓的容器）。
與天車搬運系統 Cleanway 搭配使用。採模組化設計，可橫向擴充。另有 200mm 用的 CLS-40、小型的 Clean Mini Stocker，以及利用天車軌道側邊或下方空間的省空間保管 ZFS。
Clean Stocker CLS-50的特點與規格
大福（Daifuku）・倉儲系統（Stocker）
適用 300mm 晶圓廠的無塵室自動保管系統。與天車搬運系統 Cleanway 搭配，暫存等待下一道製程的 FOUP。
產品概要
主要規格
| 保管對象 | FOUP（300 mm） |
|---|---|
| 組成 | 模組化設計（可橫向擴充） |
| 相關機型 | CLS-40（200 mm 用）／Clean Mini Stocker／ZFS（軌道側・下方的省空間保管） |
| 主要用途 | 前段製程的製程間 FOUP 暫存 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
300mm FOUP 用自動保管
可橫向擴充的模組化設計
與天車搬運 Cleanway 連動
主要用途
- 前段製程的製程間 FOUP 暫存
製造商
大福（Daifuku）（總部：日本）