倉儲系統(Stocker)是什麼
倉儲系統(stocker)是在半導體製造產線中,暫時自動保管・管理 FOUP(晶圓載具)的無人自動倉儲系統。它與 AMHS 連動提供製程間的緩衝,緩解因設備突發停機或批次等待造成的搬送瓶頸。迷你倉儲(mini stocker)設置在製造設備旁,可即時供應;大型倉儲則配置在樓層中央,負責整個樓層的 WIP 管理。
重點整理
自動保管・管理 FOUP(晶圓載具)的無人自動倉儲
與 AMHS 連動作為製程間緩衝,使 WIP 流動平順
結合迷你倉儲(設置於設備旁)與大型倉儲(樓層中央)
與 MES 連動,即時控制批次優先順序・期限管理
必須採用因應無塵室的低微粒設計與防振結構
常見問題
倉儲系統與 AMHS 如何連動?
AMHS 控制器(AMHSC)從 MES 接收搬送指令,由 OHT 將 FOUP 搬入・搬出倉儲。倉儲內由機械手臂將 FOUP 存放至貨架或取出,並由 MES 最佳化送往下一道製程設備的搬送時機。
主要廠商有哪些?
村田機械(Murata Machinery,日)、大福(Daifuku,日)、Asyst Technologies(現 Crossing Automation)等是主要廠商,會依晶圓廠規模進行客製化設計。
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