FE-5000 シリーズ

測定角度の自動可変機構を持つ大塚電子の分光エリプソメーター。位相差板の自動着脱で精度を高めている。

FE-5000 シリーズとは

FE-5000 シリーズは、大塚電子の分光エリプソメーターです。回転検光子法を採用し、オプションで偏光子の駆動や位相板の自動着脱にも対応します。波長範囲は紫外〜可視の 300〜800nm です。

400 チャンネル以上のマルチチャンネル分光で、エリプソスペクトルを高速に測定します。反射角を変えられるため、膜を詳細に調べられます。光学定数のデータベースとレシピ登録機能も備えます。

tanψ と cosΔ の測定精度はいずれも ±0.01 以下、膜厚の繰り返し再現性は標準 SiO₂ で 0.01% 以下、測定できる膜厚は 0.1nm〜1µm です。ゲート酸化膜や窒化膜などの半導体ウェーハ、化合物半導体、FPD の配向膜、光学コーティング、DLC などの評価に使われ、光学定数が未知の極薄膜の解析にも対応します。

主な特長

•回転検光子法、波長 300〜800nm
•400 チャンネル以上のマルチチャンネル分光
•膜厚再現性 0.01% 以下、測定膜厚 0.1nm〜1µm
•反射角可変・光学定数データベース

主な仕様

測定方式	回転補償子型分光エリプソメトリー
特徴	測定角度自動可変・位相差板自動着脱
関連機種	FE-5000S（卓上型）
主要用途	各種薄膜の高精度解析

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	堀場製作所UVISEL Plus	大塚電子FE-5000 シリーズ
測定方式	位相変調型分光エリプソメトリー	回転補償子型分光エリプソメトリー
特徴	入射角 40 ～ 90° 可変・マイクロスポット 50 µm・3 分で全波長測定（FastAcq）	測定角度自動可変・位相差板自動着脱
主要用途	薄膜の膜厚・光学定数測定	各種薄膜の高精度解析