KRATOS ULTRA2(英國名稱 AXIS Supra+)是島津製作所(Shimadzu)的影像 X 射線光電子能譜設備(XPS),分析樣品表面的組成與化學態。
透過最佳化的電子光學系統,可高靈敏度分析大面積,並以 128 通道的延遲線偵測器達到 1 秒以內的量測。以羅蘭圓直徑 500mm 的單色器與 Al Kα X 射線源取得高能量解析度,可偵測細微的化學位移。
以虛擬探針技術定位微小區域,並以自動光圈將分析區域縮小至約 27µm。以非掃描的投影成像進行空間解析度 1µm 的化學態分布圖分析,透過影像拼接也能處理數 mm 的樣品。以磁場進行電荷中和以抑制樣品損傷,也可選擇支援氣體團簇的離子源。亦支援擴充至 UPS、AES、SAM、SEM、ISS、SIMS。