最後更新:2026年10月23日表面分析設備(XPS/SIMS)

KRATOS ULTRA2的特點與規格

島津製作所(Shimadzu)・表面分析設備(XPS/SIMS)

針對化學態分析最佳化的 X 射線光電子分析設備,配備影像用與能譜用的專用分析器。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

KRATOS ULTRA2(英國名稱 AXIS Supra+)是島津製作所(Shimadzu)的影像 X 射線光電子能譜設備(XPS),分析樣品表面的組成與化學態。

透過最佳化的電子光學系統,可高靈敏度分析大面積,並以 128 通道的延遲線偵測器達到 1 秒以內的量測。以羅蘭圓直徑 500mm 的單色器與 Al Kα X 射線源取得高能量解析度,可偵測細微的化學位移。

以虛擬探針技術定位微小區域,並以自動光圈將分析區域縮小至約 27µm。以非掃描的投影成像進行空間解析度 1µm 的化學態分布圖分析,透過影像拼接也能處理數 mm 的樣品。以磁場進行電荷中和以抑制樣品損傷,也可選擇支援氣體團簇的離子源。亦支援擴充至 UPS、AES、SAM、SEM、ISS、SIMS。

主要規格

分析手法XPS(影像 XPS)
特點影像空間解析度 1 µm・DLD 2 維偵測器
主要用途極表面的元素・化學鍵結狀態・縱深分析

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

大面積・高靈敏度的 XPS,1 秒以內量測
羅蘭圓直徑 500mm 單色器
微小區域分析(約 27µm)・空間解析度 1µm 的影像
可擴充至 UPS・AES・SIMS 等

主要用途

  • 半導體・材料的表面組成・化學態分析
  • 化學態分布圖分析

製造商

島津製作所(Shimadzu)(總部:日本)

所屬設備分類

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資料來源

  1. 島津製作所(Shimadzu)官方產品頁面:AXIS Supra+