KRATOS ULTRA2（英国名 AXIS Supra+）

化学状態分析に最適化した X 線光電子分析装置。イメージング用とスペクトル用に専用アナライザーを備える。

KRATOS ULTRA2とは

KRATOS ULTRA2（英国名 AXIS Supra+）は、島津製作所のイメージング X 線光電子分光装置（XPS）です。試料表面の組成と化学状態を分析します。

最適化した電子光学系により、大面積を高感度に分析でき、128 チャンネルのディレイライン検出器で 1 秒未満の測定が可能です。ローランド径 500mm のモノクロメーターと Al Kα X 線源で高いエネルギー分解能を得ており、わずかな化学シフトも検出できます。

仮想プローブ技術で微小領域に位置決めし、自動アパーチャーで分析領域を約 27µm まで絞れます。非走査の投影イメージングで空間分解能 1µm の化学状態マッピングができ、画像のつなぎ合わせで数 mm の試料も扱えます。磁場による帯電中和で試料ダメージを抑え、ガスクラスター対応のイオン源も選べます。UPS、AES、SAM、SEM、ISS、SIMS への拡張にも対応します。

主な特長

•大面積・高感度の XPS、1 秒未満の測定
•ローランド径 500mm モノクロメーター
•微小領域分析（約 27µm）・空間分解能 1µm のイメージング
•UPS・AES・SIMS などへの拡張

主な仕様

分析手法	XPS（イメージング XPS）
特徴	イメージング空間分解能 1 µm・DLD 2 次元検出器
主要用途	極表面の元素・化学結合状態・深さ方向分析

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	アルバック・ファイPHI GENESIS	日本電子（JEOL）JAMP-9510F	島津製作所KRATOS ULTRA2（英国名 AXIS Supra+）	リガク（Rigaku）TXRF 3760
分析手法	XPS（走査型マイクロ X 線）	AES（オージェ電子分光）	XPS（イメージング XPS）	TXRF（全反射蛍光 X 線）
特徴	ロボットによる全自動分析・絶縁物自動中和・クラスターイオン深さ方向分析	分析分解能 8 nm・像分解能 3 nm・最大 200 nA	イメージング空間分解能 1 µm・DLD 2 次元検出器	Na ～ U を測定・液体窒素不要の検出器・ゼロエッジ除外（オプション）
主要用途	金属・半導体・セラミックス・有機物の表面化学状態分析	微小領域の組成・化学状態分析	極表面の元素・化学結合状態・深さ方向分析	ウェーハ表面の金属汚染分析