JAMP-9510F 是日本電子（JEOL）的場發射型歐傑微探儀。以電子束照射樣品，分析從樣品表面放出的歐傑電子，以調查表面微小區域的元素。
採用蕭特基場發射型電子槍，可輸出媲美 EPMA 的穩定大電流。二次電子影像解析度為 3nm（25kV、10pA），加速電壓 0.5～30kV，探針電流 10⁻¹¹～2×10⁻⁷A。以靜電半球型分析器（HSA）達到 0.05～0.6% 的高能量解析度。透過高精度的等中心（eucentric）樣品台與浮動式離子槍，也能分析過去難以處理的絕緣物。
以逐像素保存完整能譜的能譜影像（spectral imaging），可在量測後萃取元素並進行化學態分布圖分析，避免遺漏元素。用於半導體元件的截面分析、鋰離子電池材料（特別是鋰的偵測），以及判別碳同素異形體、評估絕緣物與半導體能隙的 REELS 分析。