SmartFactory MES 是由應用材料（Applied Materials）集團旗下 Applied SmartFactory 提供的半導體用製造執行系統（MES），在在製品（WIP）於廠內流動期間管理・控制・追蹤生產。
協調在製品、設備運轉、物料移動、生產規則、配方、資料收集、可追溯性與品質事件。在全廠標準化生產規則・途程・物料・品質要求，並將即時生產資料與業務流程串接。支援範圍涵蓋晶圓廠、基板、組裝、測試、後段製程到量產環境。
MES 平台包括面向晶圓廠的 300works FullAuto、面向測試・組裝的 MES for ATP、晶圓廠營運建模的 PROMIS、面向大量生產的 FACTORYworks、面向組裝與周邊產業的 FACTORYworks+，以及實作業務規則的 FAB300。另備有警報管理、設備自動化、資產追蹤、維護管理等補充解決方案。