製造執行系統(MES)是什麼
製造執行系統(MES)是管理晶圓廠內各批次(lot)目前處於哪個製程、接下來應流向哪台設備的系統。半導體需要花數個月走過數百道製程,會形成多次經過同一台設備的循環式流程,因此需要一套能一邊觀察在製品分配與設備空閒狀況、一邊決定下一步的機制。它負責配方下發、作業指示、實績收集與庫存管理,並與設備控制軟體及品質管理系統連動,在週期時間(cycle time)與設備稼動率這兩項相互矛盾的指標之間取得平衡。
重點整理
管理批次目前位置與下一道製程的製造執行系統
因應多次經過同一台設備的循環式製程流程
負責配方下發・作業指示・實績收集・庫存管理
其任務是在週期時間與設備稼動率之間取得平衡
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