前工程（ウェハプロセス）
検査・計測エンジニア（メトロロジー）
最終更新：2026-08-30
この職種は何をするのか
検査・計測エンジニアは、ウェハの寸法・膜厚・重ね合わせ精度・欠陥を「測る側」を担当する職種です。CD-SEMやオーバーレイ計測、光学式／電子ビーム式の欠陥検査装置を運用し、測定レシピの作り込みと測定値の信頼性確保に責任を持ちます。測定が狂えばプロセス側の判断がすべて狂うため、ラインの基準点を守る職種だといえます。
仕事内容
計測レシピの作成
どこを何点測るか、どの倍率・条件で測るかを設計します。測定点の取り方ひとつで見えるばらつきが変わるため、工程の物理を理解したうえで決める必要があります。
測定再現性（GR&R）の管理
同じウェハを繰り返し測って同じ値が出るか、装置間で値が揃うかを継続的に確認します。プロセスのばらつきより計測のばらつきが大きければ、その測定は判断に使えません。
欠陥分類の作り込み
検査で見つかった欠陥を種類ごとに自動分類し、致命欠陥とノイズを切り分けます。分類精度が低いと歩留まり解析の入力そのものが濁ります。
バーチャルメトロロジーの導入
全数を測ると時間もコストも足りないため、装置ログから測定値を推定するモデルを組み、実測を減らしながら管理精度を保つ取り組みが進んでいます。
担当する工程・装置
必要になる知識・用語
主な企業
関連する技術比較
よくある質問
検査と計測はどう違いますか？
検査（インスペクション）は「異物や欠陥があるか」を探す仕事、計測（メトロロジー）は「寸法や膜厚がいくつか」を測る仕事です。装置も評価指標も別で、担当が分かれている職場もあります。
どんな学問的背景が生きますか？
光学・電子光学と信号処理です。光学式検査は波長と分解能の関係、電子ビーム検査は電子光学の理解が直接効きます。近年は画像認識の知識も価値を持ちます。
歩留まりエンジニアとの違いは？
検査・計測エンジニアは「測定そのものの正しさ」に責任を持ち、歩留まりエンジニアは「その測定結果を使って原因を突き止めること」に責任を持ちます。