前工程(ウェハプロセス)

歩留まりエンジニア(YE)

最終更新:2026-08-30

この職種は何をするのか

歩留まりエンジニア(YE:Yield Engineer)は、ウェハ1枚から取れる良品チップの割合=歩留まりを上げることに専念する職種です。欠陥検査・電気特性測定・最終テストの結果を突き合わせ、どの工程のどの装置が歩留まりを落としているかを統計的に特定します。特定の工程を持たず、ライン全体を横断して見るのが最大の特徴です。

仕事内容

歩留まりの分解と要因特定

歩留まりロスを欠陥起因・パラメトリック起因・テスト起因に分解し、どこに手を打てば効くかを見極めます。ウェハマップのパターンは原因工程を示す最初の手がかりです。

装置間差(コモナリティ)解析

同じ工程に複数台ある装置のうち特定の1台を通ったロットだけ歩留まりが低い、といった相関を大量のロット履歴から見つけ出します。

新製品の歩留まりランプアップ

量産初期は歩留まりが低いのが普通で、それを計画曲線に乗せて引き上げるのがこの職種の花形の仕事です。対策の優先順位付けが成果を左右します。

検査・計測条件の設計

どの工程の後に何を検査するかを設計します。検査を増やせば発見は早まりますがコストとサイクルタイムが増えるため、割に合う配置を決めます。

担当する工程・装置

欠陥検査装置半導体製造装置 / 前工程装置 / 検査装置ウェハ検査装置半導体製造装置 / 前工程装置 / 検査装置電子線(EB)検査装置半導体製造装置 / 前工程装置 / 検査装置CD-SEM半導体製造装置 / 前工程装置 / 計測装置オーバーレイ計測装置半導体製造装置 / 前工程装置 / 計測装置

必要になる知識・用語

歩留まり(イールド)Yield歩留まり管理Yield Managementロジックプロセス歩留まりランプアップLogic Process Yield RampSPC(統計的工程管理)Statistical Process ControlAPC(先進プロセス制御)Advanced Process ControlバーチャルメトロロジーVirtual MetrologyCOP(結晶起因ピット)COP (Crystal Originated Particle/Pit)

主な企業

KLAUS日立ハイテクJPOnto InnovationUSPDF SolutionsUSレーザーテックJPTSMC(台湾積体電路製造)TWSamsung Electronics(サムスン電子)KR

関連する技術比較

電子ビーム検査と光学検査の違い(欠陥検査方式の比較)

よくある質問

歩留まりエンジニアはどんなスキルが要りますか?

統計とデータ解析が中心です。数万ロット分の履歴から有意な相関を見つける仕事なので、SQLやPythonでデータを扱える力が直接成果になります。加えて、原因工程を推定するための製造プロセス全体の知識が要ります。

プロセスエンジニアとどう協力しますか?

歩留まりエンジニアが「この工程のこの装置が怪しい」まで絞り込み、プロセスエンジニアが条件で対策を打つ、という分担が典型です。原因の特定と対策の実行で役割が分かれます。

装置メーカーにも歩留まりエンジニアはいますか?

検査・計測装置メーカー(KLAや日立ハイテクなど)には、顧客の歩留まり改善を支援する立場の技術者がいます。デバイスメーカー側とは見えるデータの範囲が異なります。

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