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ハーモニック・ドライブ・システムズ

波動歯車装置(ハーモニックドライブ)の専業メーカー。バックラッシュがほぼゼロの精密減速機を供給し、半導体搬送ロボットや精密ステージの駆動部に使われる。

🌐 日本装置メーカー公式サイト

当サイトでの位置づけ

Semirai の装置部品カテゴリでは、搬送ロボットやステージの関節に入る精密減速機のサプライヤとして位置づけられます。バックラッシュの小ささが位置決め精度を左右します。

企業の強み

波動歯車装置による極小バックラッシュ
小型・軽量で高減速比を実現
ロボット・精密機器向けの豊富な採用実績

主要製品・ソリューション

精密減速機

  • 波動歯車減速機
  • アクチュエータ

関連装置カテゴリ

装置部品・サブシステム
ウェハ搬送装置

📊 半導体製造装置メーカーの世界シェア&カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、ハーモニック・ドライブ・システムズを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

ウェハ搬送・自動化とは →EFEM(装置フロントエンドモジュール)とは →防振・除振技術(半導体製造向け)とは →静電チャック(ESC)とは →AMHS(自動搬送システム)とは →
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