ウェハ搬送装置メーカー10社
ウェハ搬送は、装置間・工程間でのウェハ移載や物流を担う仕組みの総称です。搬送の最適化は稼働率と生産性向上に直結します。
主要特徴
よくある質問
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主要メーカーは？▾
代表製品・スペック
天井搬送システム（OHT）
ダイフクの天井走行式自動搬送システム。工程間の FOUP 搬送を自動化する。
| 搬送方式 | 天井走行型（OHT） |
| 主要用途 | プロセス装置間の FOUP 自動搬送 |
自動搬送・保管システム
村田機械のクリーンルーム向け搬送・保管システム。天井搬送と OHB・装置前バッファなどの保管装置を組み合わせる。
| 構成 | 天井搬送＋OHB／TS300 などの保管装置 |
| 主要用途 | FOUP の搬送・バッファリング |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
10社の主要メーカー
半導体FAB向けAMHS（自動搬送システム）の世界的リーダー。OHT、Stockerなどのクリーンルーム搬送システムで24時間365日の高信頼性稼働を実現。
- •半導体FAB向けAMHSで世界トップシェア
- •24時間365日連続稼働の高信頼性システム
半導体ファブ向けAMHS（OHT・ストッカー）と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。
- •OHT（天井搬送システム）で世界トップクラスのシェア
- •ストッカー・自動倉庫との統合ソリューション
半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。
- •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
- •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション
クリーン搬送機器のメーカー。FOUPを装置に接続するロードポートと、その内部でウェハを搬送するEFEM（装置フロントエンドモジュール）で世界的なシェアを持つ。
- •ロードポートで世界トップクラスのシェア
- •EFEM・搬送ロボットの一体設計
半導体ウェハ搬送・保管自動化の老舗メーカー（旧Brooks Automation）。クリーンルーム向け搬送ロボット、300mmウェハポッド管理、バイオ試料保管も展開。
- •クリーンルーム向けウェハ搬送ロボットのグローバルリーダー
- •SMIF・FOUP対応300mmウェハ保管・管理システム
生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。
- •生産ラインのインテグレーション力
- •ウェハ搬送ユニットの設計・製造
サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。
- •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
- •大気用・真空用の双方のクリーンロボット
電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。
- •高周波電源と整合器を自社設計
- •大気・真空対応のウェハ搬送ロボット
波動歯車装置（ハーモニックドライブ）の専業メーカー。バックラッシュがほぼゼロの精密減速機を供給し、半導体搬送ロボットや精密ステージの駆動部に使われる。
- •波動歯車装置による極小バックラッシュ
- •小型・軽量で高減速比を実現
ニードルベアリングと直動案内機器のメーカー。リニアガイドやクロスローラーガイド、位置決めテーブルを供給し、半導体製造装置のステージや搬送軸に使われる。
- •ニードルベアリングと直動案内の両分野に強み
- •クリーン環境・真空対応品のラインナップ
同じ分野の装置カテゴリ
AMHS（Automated Material Handling System）は、半導体ファブ内でFOUP（前開き統合ポッド）などにウェハを格納したまま、天井走行台車（OHT）・無人搬送車（AGV）・コンベアなどで自動搬送するシステムです。
メーカー 2 社装置管理システム（EES）装置管理システム（EES）は、製造装置から収集したセンサデータをもとに、装置の状態を監視し異常を早期に検知するソフトウェアです。
メーカー 3 社生産管理システム（MES）生産管理システム（MES）は、ファブ内のロットがどの工程にあり、次にどの装置へ流れるべきかを管理する製造実行システムです。
メーカー 2 社装置インターフェース（SECS/GEM）装置インターフェース（SECS/GEM）は、製造装置とホストコンピュータが会話するための通信規格と、それを実装するソフトウェア・ハードウェアです。
メーカー 4 社ストッカーストッカーは、半導体製造ラインにおいてFOUP（ウェハキャリア）を一時的に自動保管・管理する無人自動倉庫システムです。
メーカー 2 社オリフラ・ノッチ合わせ機オリフラ・ノッチ合わせ機（ウェハアライナー）は、ウェハ外周のノッチやオリエンテーションフラットを検出し、結晶方位を基準とした所定の角度へ回転させて位置決めする装置です。
メーカー 2 社ウェハマーキング・ID読取装置ウェハマーキング・ID読取装置は、ウェハ1枚ごとに固有の識別子を刻印し、工程内でそれを読み取る装置です。
メーカー 2 社ウェハソーターウェハソーターは、複数のキャリア間でウェハを並べ替え・移し替える装置です。
メーカー 3 社品質・歩留まり管理システム（YMS）品質・歩留まり管理システム（YMS）は、検査・計測・テストの結果を横断的に集約し、歩留まり低下の原因を統計的に突き止めるソフトウェアです。
メーカー 4 社