ウェハ搬送装置メーカー10社

半導体FAB向けAMHS（自動搬送システム）の世界的リーダー。OHT、Stockerなどのクリーンルーム搬送システムで24時間365日の高信頼性稼働を実現。

• •半導体FAB向けAMHSで世界トップシェア
• •24時間365日連続稼働の高信頼性システム

半導体ファブ向けAMHS（OHT・ストッカー）と後工程実装周辺装置を手掛ける総合メーカー。Daifukuと並ぶクリーンルーム搬送の主要プレーヤー。

• •OHT（天井搬送システム）で世界トップクラスのシェア
• •ストッカー・自動倉庫との統合ソリューション

半導体ウェハ搬送ロボット・EFEM（装置フロントエンドモジュール）・ソーターの専業大手。装置メーカーへOEM供給し、クリーンな搬送自動化で高い世界シェアを持つ。

• •ウェハ搬送ロボット・EFEMで高い世界シェア
• •真空・大気搬送からソーターまで一貫した搬送ソリューション

クリーン搬送機器のメーカー。FOUPを装置に接続するロードポートと、その内部でウェハを搬送するEFEM（装置フロントエンドモジュール）で世界的なシェアを持つ。

• •ロードポートで世界トップクラスのシェア
• •EFEM・搬送ロボットの一体設計

半導体ウェハ搬送・保管自動化の老舗メーカー（旧Brooks Automation）。クリーンルーム向け搬送ロボット、300mmウェハポッド管理、バイオ試料保管も展開。

• •クリーンルーム向けウェハ搬送ロボットのグローバルリーダー
• •SMIF・FOUP対応300mmウェハ保管・管理システム

生産システムのエンジニアリング会社。半導体分野ではウェハ搬送ユニットやEFEM、ロードポートなどを供給し、装置メーカー向けに搬送部を組み込む形で事業を展開する。

• •生産ラインのインテグレーション力
• •ウェハ搬送ユニットの設計・製造

サーボモータ・インバータ・産業用ロボットの大手メーカー。半導体分野では大気搬送・真空搬送に対応したクリーンロボットを供給し、装置内および装置間のウェハ搬送を担う。

• •サーボ技術を核とした高速・高精度な搬送
• •大気用・真空用の双方のクリーンロボット

電力機器・溶接機を源流とするメーカー。半導体分野ではウェハ搬送ロボットに加え、プラズマ装置向けの高周波電源と整合器（マッチングボックス）を供給する。

• •高周波電源と整合器を自社設計
• •大気・真空対応のウェハ搬送ロボット

波動歯車装置（ハーモニックドライブ）の専業メーカー。バックラッシュがほぼゼロの精密減速機を供給し、半導体搬送ロボットや精密ステージの駆動部に使われる。

• •波動歯車装置による極小バックラッシュ
• •小型・軽量で高減速比を実現

ニードルベアリングと直動案内機器のメーカー。リニアガイドやクロスローラーガイド、位置決めテーブルを供給し、半導体製造装置のステージや搬送軸に使われる。

• •ニードルベアリングと直動案内の両分野に強み
• •クリーン環境・真空対応品のラインナップ