日立パワーソリューションズ
日立グループのエネルギー・産業ソリューション企業。半導体分野では、超音波映像装置 FineSAT シリーズで半導体パッケージやウェーハ接合部の剥離・ボイド・クラックを非破壊で検査する装置を手掛け、産業用 X 線検査装置も展開する。
日本・装置メーカー・公式サイト ↗
当サイトでの位置づけ
Semirai の信頼性試験カテゴリでは、パッケージやウェーハ接合部の剥離・ボイドを非破壊で調べる超音波映像装置（SAT）のメーカーとして参照されます。
企業の強み
FineSAT シリーズの超音波映像装置（SAT）
透過法で直径 300mm ウェーハを一括検査できる機種（FineSAT 7）
ウェーハ専用機や電子スキャン方式の高速機も揃える
主要製品・ソリューション
超音波映像装置
- •FineSAT 7
- •FineSAT Ⅴ
- •FineSAT HR
- •WAFER LINE
- •ES5100 シリーズ
X線検査装置
- •産業用X線検査装置
日立パワーソリューションズの製品
関連装置カテゴリ
半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ
ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、日立パワーソリューションズを含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。
関連用語
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