超音波映像装置（SAT）メーカー2社
超音波映像装置（SAT：Scanning Acoustic Tomograph／超音波顕微鏡）は、水などを介して試料に高周波の超音波を当て、内部の界面から返ってくる反射波を画像化して、パッケージやウェーハの内部を非破壊で観察する装置です。超音波は空気の層でほぼ全反射するため、樹脂とチップの間の剥離、はんだのボイド、クラックを高いコントラストで検出できます。吸湿・リフロー後の剥離評価や、ウェーハ接合（ボンディング）の界面検査で使われています。
主要特徴
よくある質問
超音波映像装置とX線検査装置はどう使い分けますか？▾
周波数はどう選びますか？▾
代表製品・スペック
FineSAT 7（超音波映像装置）
FineSAT Ⅲ の機能を強化した超音波映像装置。自社開発の AD ボードで検出画像を高画質化し、透過法で直径 300mm ウェーハを一括検査できる。
| プローブ周波数 | 5〜400 MHz |
| 有効ストローク（X×Y×Z） | 350 × 350 × 80 mm |
| 最大走査速度 | 1,200 mm/s（公称値） |
| 最大測定点数 | 標準 4 億点（GUI PC オプション時 20 億点） |
| 外形寸法（W×H×D） | 1,590 × 1,360 × 950 mm |
| 方式 | 走査型超音波顕微鏡（SAM） |
| 対応ウェーハ | 8 インチ・12 インチ |
| クリーンルーム | ISO クラス 5 対応 |
※ スペックは公開情報に基づく参考値です。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
メーカー
2社の主要メーカー
日立グループのエネルギー・産業ソリューション企業。半導体分野では、超音波映像装置 FineSAT シリーズで半導体パッケージやウェーハ接合部の剥離・ボイド・クラックを非破壊で検査する装置を手掛け、産業用 X 線検査装置も展開する。
- •FineSAT シリーズの超音波映像装置（SAT）
- •透過法で直径 300mm ウェーハを一括検査できる機種（FineSAT 7）
結晶成長装置と超音波検査装置のドイツ系メーカー。シリコンのCZ引き上げ炉、SiC・AlNのPVT（昇華）成長炉、真空炉、超音波非破壊検査装置を手掛ける。
- •CZ引き上げ炉・PVT成長炉の両方を供給
- •化合物半導体の結晶成長装置に強み
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