NAURA Technology Group（北方华创）

中国最大の半導体製造装置メーカー。CVD・ALD・エッチング・熱処理・洗浄装置を自社開発し中国国内ファブへの供給を拡大。米国規制による先端装置輸入制限を受け、国産化の中核企業として政府支援のもと急成長。

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当サイトでの位置づけ

Semirai の前工程装置カテゴリでは、CVD・ALD・エッチング・熱処理を一社で網羅する中国最大の総合装置メーカーとして、国産化政策を背景に存在感を高める立場にあります。

企業の強み

中国国内最大の半導体装置メーカー

CVD・ALD・エッチング・熱処理を一社で網羅

中国政府の国産化政策で急成長中

主要製品・ソリューション

成膜装置

•PECVD
•ALD
•PVD

エッチング装置

•プラズマエッチャー（Poly・Metal・Dielectric）

熱処理装置

•酸化炉
•アニール装置

関連装置カテゴリ

成膜装置は、ウェハ表面に絶縁膜、導電膜、半導体膜などの薄膜を数百ナノメートルから原子レベルの厚さで形成する前工程の重要装置です。

メーカー 9 社エッチング装置

エッチング装置は、ウェハ上の薄膜から不要な部分を除去し、微細な回路パターンを形成する前工程の中核装置です。

メーカー 7 社熱処理装置

熱処理装置は、半導体ウェハを高温（200〜1100°C程度）に加熱して、不純物の活性化・酸化膜形成・シリサイド形成・アニール（結晶欠陥回復）などの熱反応を行う前工程の重要装置群です。

メーカー 6 社

半導体製造装置メーカーの世界シェア＆カオスマップ

ASML・Applied Materials・TEL・Lam Research・KLAなど、NAURA Technology Group（北方华创）を含む主要メーカーの工程別シェアを図解で比較。

関連用語

CVD（化学気相成長）とは→ALDとは→ドライエッチングとは→アニール（熱処理）とは→

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