高度加速寿命試験装置 EHS シリーズ（標準タイプ）

バイアス試験を中心に考えた機能を持つ HAST チャンバー。IEC 60068-2-66 に対応する。

高度加速寿命試験装置 EHS シリーズとは

EHS シリーズは、エスペックの高度加速寿命試験装置（HAST）です。高温・高湿・加圧のストレスを組み合わせて加え、電気・電子部品の信頼性を短時間で評価します。半導体パッケージの耐湿性評価などに使われます。

EHS-212／222 は 105.0〜142.9°C・75〜100%RH・0.020〜0.196MPa（ゲージ圧）、EHS-412 は 105.0〜162.2°C・75〜100%RH・0.020〜0.392MPa に対応します。標準機は不飽和制御と飽和湿潤制御を持ち、M タイプは IEC 60068-2-66 に合わせた乾湿球温度制御も備えます。

円筒形の二重壁構造と独自の空調技術で、試料への結露や水滴の付着を防ぎ、攪拌ファンで温湿度のばらつきを抑えて均一なストレスを与えます。槽内に空気を残して酸素による劣化を再現する Air-HAST オプションは、実装基板の鉛フリーはんだのウィスカ評価に有効です。大型試料向けの EHS-222M-L は約 470×290mm の基板と最大 120 ピン（1000V／1A）のバイアス印加に対応します。

主な特長

•最高 142.9°C／162.2°C、75〜100%RH、加圧
•不飽和・飽和湿潤・乾湿球温度の制御（M タイプ）
•円筒二重壁構造で結露・水滴を防止
•Air-HAST オプション、大型試料モデル

主な仕様

試験方式	HAST（不飽和・加圧）
制御モード	不飽和制御・濡れ飽和制御（2モード）
試験範囲	+105.0 ～ +142.9 ℃・75 ～ 100 %rh・0.020 ～ 0.196 MPa（高圧対応型は +162.2 ℃・0.392 MPa まで）
準拠規格	IEC 60068-2-66
主要用途	半導体パッケージ・電子部品の耐湿バイアス試験

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	エスペック高度加速寿命試験装置 EHS シリーズ（標準タイプ）	エスペック高度加速寿命試験装置 EHS シリーズ（M タイプ）
試験方式	HAST（不飽和・加圧）	HAST（不飽和・加圧）
制御モード	不飽和制御・濡れ飽和制御（2モード）	乾湿球温度制御・不飽和制御・濡れ飽和制御（3モード）
準拠規格	IEC 60068-2-66	IEC 60068-2-66
主要用途	半導体パッケージ・電子部品の耐湿バイアス試験	AI 半導体・車載向け大型基板の一括評価

1機種だけが掲載している項目（2件）

試験範囲	+105.0 ～ +142.9 ℃・75 ～ 100 %rh・0.020 ～ 0.196 MPa（高圧対応型は +162.2 ℃・0.392 MPa まで）	—
関連機種	—	EHS-222M-L（大型基板対応）

※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。