用語はんだ材料(はんだボール・ペースト)フリップチップボンダー最終更新 2026-10-10出典 1件Excel・PDF版

リフロー(リフローはんだ付け)とは

Reflow Soldering

リフローとは、はんだペーストやはんだボールを加熱して溶かし、部品と基板の電極を一括で接合するはんだ付け方法です。予熱・本加熱・冷却の温度プロファイルで行い、鉛フリーはんだではピーク230〜250℃程度、部品の耐熱条件はJEDEC J-STD-020でピーク最大260℃と定められています。BGA実装やフリップチップのバンプ接合に使われます。

目次7項目
  1. 定義・解説
  2. 図解
  3. よくある質問
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連用語
  6. 比較・違いを学ぶ
  7. 出典・参考資料

定義・解説

リフローとは、あらかじめ供給しておいたはんだを加熱して溶かし、部品と基板の電極を接合するはんだ付けの方法です。英語のreflow(再び流す)が語源で、リフローはんだ付けとも呼びます。はんだペースト(クリームはんだ)を印刷した基板に部品を載せる、または、はんだボールやバンプを付けたパッケージやチップを基板に載せ、リフロー炉に通して多数の接合を一括で行います。

リフロー炉では、決められた温度プロファイルに沿って加熱します。まず予熱で150〜200℃程度に60〜120秒保ち、フラックスを活性化させながら全体の温度をそろえます。次に本加熱ではんだの融点を超える温度まで上げ、代表的な鉛フリーはんだのSn-Ag-Cu(融点約217〜220℃)では、ピークを230〜250℃程度にして数十秒間溶かします。最後に冷却して固めます。加熱には熱風(対流)が主に使われ、はんだの酸化を防ぐために窒素雰囲気で行うこともあります。部品が耐えなければならないリフロー条件(ピーク温度最大260℃)や、パッケージの吸湿のしやすさを示す吸湿感度レベル(MSL)は、JEDECの規格(J-STD-020)で定められています。

半導体の後工程では、BGAのはんだボール搭載後の接合、フリップチップのバンプ接合、ウェハ上にめっきしたバンプを球状に整える工程などでリフローが使われます。フリップチップのC4バンプでは、溶けたはんだの表面張力でチップが正しい位置に引き寄せられる自己整合(セルフアライメント)が働きます。不良には、接合部に空洞が残るボイド、隣の電極とつながるブリッジ、パッケージの反りによる未接合(ヘッドインピロー)、吸湿した水分が加熱で膨張してパッケージが割れるポップコーン現象などがあります。バンプの間隔が数十μm以下の先端パッケージでは、反りの影響を抑えるため、熱圧着(TCB)やレーザーで局所的に加熱するリフローも使われます。なお、前工程ではBPSG膜を加熱して流動させ平坦化することもリフローと呼びます。

図解

リフローはんだ付けの温度プロファイル(予熱・フラックス・ピーク・冷却)
BGAの実装やフリップチップのバンプ接合に使われる。

よくある質問(FAQ)

リフローの温度プロファイルとは何ですか?
リフロー炉の中で基板が受ける温度の時間変化のことで、予熱・本加熱(はんだの溶融)・冷却の3段階からなります。予熱でフラックスを活性化して全体の温度をそろえ、本加熱で融点を超えて数十秒溶かし、冷却で固めます。はんだの種類や部品の耐熱性に合わせて条件を最適化します。
リフローで起こる代表的な不良は何ですか?
はんだ内部に空洞が残るボイド、隣の電極とはんだがつながるブリッジ、パッケージの反りでボールと基板のはんだが一体にならないヘッドインピロー、吸湿したパッケージが加熱で割れるポップコーン現象などがあります。温度プロファイルの調整や、実装前のパッケージの乾燥(ベーク)で防ぎます。

設備の製造メーカー

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出典・参考資料

  1. 千住金属工業「リフロー炉」(2026/10/10 確認)