FT/IR-4X

小型ながら研究グレードの性能を持つ日本分光のフーリエ変換赤外分光光度計。密閉型干渉計で乾燥剤交換が要らない。

FT/IR-4Xとは

FT/IR-4X は、日本分光のフーリエ変換赤外分光光度計（FTIR）です。赤外光の吸収スペクトルから有機物などの分子構造を調べる装置で、半導体の分野では有機汚染や樹脂材料の分析に使われます。

密閉型干渉計にコーナーキューブミラーを採用し、外乱の影響をリアルタイムでキャンセルします。24 ビット A/D コンバーター、低ノイズの電気系、高輝度光源、高性能検出器で 35,000:1 の高い S/N 比を実現し、微量試料の測定に対応します。最高分解は 0.4cm⁻¹ で、ガスの振動スペクトルも測れます。半導体レーザーで He-Ne レーザーと同等の 0.0005cm⁻¹ の波数精度を得ています。

本体は 386(W)×479(D)mm と小さく、消費電力を従来比 30% 削減しました。終夜通電や乾燥剤交換の要らないメンテナンスフリー構造で、自己診断機能を持ちます。毎秒 80 スペクトルのラピッドスキャンに対応し、MCT や InGaAs の検出器を増設できます。

主な特長

•S/N 比 35,000:1、最高分解 0.4cm⁻¹
•コーナーキューブ密閉型干渉計
•メンテナンスフリー・自己診断
•ラピッドスキャン毎秒 80 スペクトル

主な仕様

分析手法	FTIR（フーリエ変換赤外分光）
特徴	幅 200 mm の試料室・赤外顕微鏡や高速スキャンに対応
主要用途	有機化合物の構造解析・異物分析

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	島津製作所IRXross	日本分光（JASCO）FT/IR-4X	堀場製作所LabRAM Odyssey Semiconductor
分析手法	FTIR（フーリエ変換赤外分光）	FTIR（フーリエ変換赤外分光）	顕微ラマン分光・フォトルミネッセンス
特徴	S/N 比 55,000:1（IRAffinity-1S の 1.8 倍）	幅 200 mm の試料室・赤外顕微鏡や高速スキャンに対応	測定波長 200 ～ 2,100 nm・空間分解能 0.5 µm 未満・300 × 300 mm 自動ステージ
主要用途	有機物の同定・異物分析	有機化合物の構造解析・異物分析	ウェーハ上の欠陥・不均一性の同定