有機物分析装置メーカー5社
有機物分析装置は、レジスト残渣・洗浄液由来の有機汚染・封止樹脂の劣化生成物など、有機化合物を同定し定量する装置群です。FTIR（フーリエ変換赤外分光）で官能基を、GC-MS（ガスクロマトグラフ質量分析）やLC-MSで揮発性・難揮発性成分の分子構造を特定します。クリーンルーム内のAMC（気中分子汚染）評価やパッケージ材料のアウトガス試験にも使われ、ウェハ表面の有機汚染がレジスト密着不良や成膜欠陥につながる工程で重要な役割を担います。
主要特徴
メーカー
5社の主要メーカー
分析・計測機器の国内大手メーカー。質量分析装置・表面分析装置・X線分析装置を中心に、半導体材料評価から医療機器まで幅広い分析技術を展開する。
- •分析・計測機器で国内トップクラス
- •質量分析・表面分析技術に強み
分光分析装置の国内メーカー。FTIR（赤外分光）、ラマン分光装置、紫外可視分光光度計などを供給し、薄膜の組成評価や有機汚染の同定といった分析用途に使われる。
- •FTIR・ラマンなど分光分析の総合ラインナップ
- •国内開発・製造による装置の作り込み
電子顕微鏡・電子線描画装置・分析機器の総合メーカー。半導体分野ではマスク描画用EB装置・電子線露光装置、研究用TEM/SEMを提供。
- •電子線描画装置（JBX シリーズ）で研究・試作向け市場を牽引
- •TEM/SEMなど電子顕微鏡で世界トップシェアを持つ
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
- •分析・計測機器で国内大手
- •半導体プロセス向けガス分析に強み
科学計測機器・半導体計測装置の世界的メーカー。AFM（原子間力顕微鏡）・X線計測・電子顕微鏡を半導体製造の計測・品質管理に提供。
- •半導体向けAFM（原子間力顕微鏡）で世界最大手。ナノスケール形状計測に必須
- •X線回折（XRD）・X線反射率（XRR）による非破壊膜厚・結晶品質計測
関連カテゴリ
加速寿命試験装置は、通常使用より厳しい温度・湿度・電圧・圧力を印加して故障メカニズムを加速させ、実使用条件での寿命を推定する信頼性試験装置です。
メーカー 3 社バーンインシステムバーンインシステムは、デバイスに高温と定格を超える電圧・信号を一定時間印加し、バスタブ曲線の初期故障期にある個体を出荷前に強制的に故障させて取り除くスクリーニング装置です。
メーカー 4 社IC開封・断面加工装置IC開封・断面加工装置は、故障解析の前処理として、樹脂封止されたパッケージからチップ表面を露出させ、また観察したい部位の断面を作り出す装置群です。
メーカー 3 社故障解析装置故障解析装置は、不良となったデバイスの故障箇所を非破壊で特定し、物理的な原因まで遡るための装置群です。
メーカー 3 社形態観察装置（SEM/TEM）形態観察装置は、故障解析や不良解析においてデバイスの断面・表面構造を高倍率で可視化する装置群です。
メーカー 5 社表面分析装置（XPS/SIMS）表面分析装置は、材料の最表面から数nm〜数μmの深さにある元素組成と化学結合状態を定量する装置群です。
メーカー 6 社温湿度試験装置温湿度試験装置は、恒温恒湿槽内で温度と湿度を任意のプロファイルに制御し、デバイスやパッケージを高温高湿環境に長時間さらして劣化を加速させる信頼性試験装置です。
メーカー 3 社熱分析装置（TG-DTA/DSC）熱分析装置は、試料の温度を制御しながら重量変化・熱流・寸法変化を測定し、材料の熱的性質を評価する装置群です。
メーカー 3 社熱衝撃試験装置熱衝撃試験装置は、高温槽と低温槽の間でデバイスを短時間で移送し、急激な温度変化を繰り返し与える信頼性試験装置です。
メーカー 2 社