マスフローコントローラ（MFC）メーカー4社
マスフローコントローラ（MFC）は、ガスの質量流量を測定しながら、内蔵の制御弁で設定値どおりに流量を保つ機器です。センサ管を流れるガスが運ぶ熱量から流量を求める熱式が主流で、成膜・エッチング装置のガスボックスには1台あたり十数台から数十台が並びます。数sccmから数十slmの範囲を±1%前後の精度で制御し、応答速度が短いステップのALDやパルスプロセスでは特に重要になります。入口圧力の変動に強い圧力式・圧力変動補償型の採用も広がっています。
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主要特徴
ガスの質量流量を測定し制御弁で設定値に保つ機器
センサ管の熱移動から流量を求める熱式が主流
装置1台のガスボックスに十数〜数十台が搭載される
ALDなど短ステップ工程では応答速度と圧力変動耐性が重要
よくある質問
熱式MFCと圧力式MFCの違いは？▾
熱式はガスが運ぶ熱量から質量流量を求める方式で汎用性が高く、圧力式はオリフィス前後の圧力から流量を求める方式で応答が速く、入口圧力の変動の影響を受けにくい特長があります。
sccmとは何の単位ですか？▾
標準状態（0℃・1気圧）に換算した1分あたりの流量をcm³で表した単位です。slmは同じ条件でのリットル毎分を表します。
メーカー
4社の主要メーカー
堀場製作所日本
分析・計測機器の国内大手メーカー。半導体製造向けにはガス分析計・パーティクルカウンタ・分光エリプソメータなど、プロセス管理に不可欠な計測機器を展開する。
分析・計測装置
ガス分析計パーティクルカウンタ分光エリプソメータ
- •分析・計測機器で国内大手
- •半導体プロセス向けガス分析に強み
MKS Instruments米国
ガス流量制御・圧力制御・RFパワー・プラズマ源など、半導体製造プロセスを支えるサブシステム機器の主要メーカー。Newport光学部門も保有。
ガス制御機器
マスフローコントローラ圧力コントローラ
RF・プラズマ機器
RFジェネレータマッチングネットワーク
計測・光学
Newport光学部品レーザー光源
- •マスフローコントローラ（MFC）でグローバルリーダー
- •RF電力供給・圧力制御・真空計測の統合ソリューション
フジキン（Fujikin）日本
超高純度対応のバルブ・継手・レギュレータを手掛ける流体制御機器メーカー。半導体プロセスガス向けのダイヤフラムバルブや、MFCを組み込んだガスボックス（ガスパネル）をユニットで供給する。
流体制御機器
ダイヤフラムバルブガスボックス（ガスパネル）レギュレータ
- •超高純度（UHP）流体制御機器の設計技術
- •ダイヤフラムバルブ・継手で高いシェア
アズビル日本
計測と制御を軸にした自動化メーカー（旧・山武）。半導体工場ではクリーンルームの空調制御や、装置内の各種センサ・バルブを供給する。
センサ
圧力・流量センサ近接センサ光電センサ
制御機器
調節弁コントローラ空調制御システム
- •計測・制御の専業メーカーとして長い歴史
- •クリーンルーム空調制御の実績