FAD5100Sとは
FAD5100S は、武蔵エンジニアリングのアンダーフィル用全自動ディスペンサーです。フリップチップ実装したチップと基板のすき間に、樹脂（アンダーフィル）を流し込みます。
半導体・実装分野向けに高い塗布品質と生産性を備えています。ウェーハレベルの処理には、EFEM（装置前面のウェーハ搬送モジュール）に対応した FAD5100S-WH があります。
主な特長
- •アンダーフィル用の全自動機
- •ウェーハ対応の FAD5100S-WH（EFEM 対応）
主な仕様
| 塗布方式 | 全自動ディスペンス |
|---|---|
| 対応ワーク | 基板（ウェーハは FAD5100S-WH） |
| 構成 | インライン全自動機 |
| 主要用途 | フリップチップのアンダーフィル塗布 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | NordsonASYMTEK Spectrum™ II | 武蔵エンジニアリングFAD5100S |
|---|---|---|
| 塗布方式 | ジェット／ニードル（チルト塗布対応） | 全自動ディスペンス |
| 対応ワーク | 基板・ウェーハ（クリーンルーム仕様あり） | 基板（ウェーハは FAD5100S-WH） |
| 構成 | デュアルバルブ・ヒーター最大 6・デュアルレーン | インライン全自動機 |
| 主要用途 | ウェーハレベルアンダーフィル・3D パッケージ・ダム＆フィル | フリップチップのアンダーフィル塗布 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •フリップチップのアンダーフィル塗布
- •ウェーハレベルの塗布
掲載カテゴリ
FAD5100Sは次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
武蔵エンジニアリング
ディスペンサ（液体精密制御装置）の総合メーカー。微小量の吐出制御を強みに、ノズル・バルブから全自動塗布装置まで一貫して手掛ける。
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07